Nakon što svjetlost uđe u razdijelilac snopa, obično svjetlo se može podijeliti na sljedeća tri tipa prema valnoj dužini:
U blizini UV (u blizini UV) : 200-380nm
Vakuum UV Ekstremni ultraljubičasti, ekstremni ultraljubičasti (ExtremeUV〈EUV〉): 1-10nm
Nakon što svjetlost uđe u razdijelilac snopa, obično svjetlo se može podijeliti na sljedeća tri tipa prema valnoj dužini:
U blizini UV (u blizini UV) : 200-380nm
Vakuum UV Ekstremni ultraljubičasti, ekstremni ultraljubičasti (ExtremeUV〈EUV〉): 1-10nm